弊社では超短パルスレーザーを用いたレーザー微細加工の受託加工サービスにて、様々な材料への微細穴加工や細穴加工をご提供しています。弊社ホームページには加工事例としてステンレス(SUS304)　チタン(Ti)、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、CFRP、ガラス(無アルカリガラス、石英ガラス)などの基板への微細穴加工を掲載していますのでご覧下さい。

さて、今回はガラス微細穴加工のご紹介をさせて頂きます。厚み0.45mmの石英ガラスに対して　　　φ50μmの貫通穴を加工するプロセスを開発しました。

当社ではこれまで、超短パルスレーザーによる貫通穴あけ加工では同程度の厚みのガラスでΦ100μm程度が限界でした。しかしながら、新しいプロセスではより小径の長穴を加工できるようになりました。今後はより厚みのある材料、異なる穴径への対応を視野に入れ開発を継続していきます。

図1　ガラス表面からの貫通穴の観察像

図2　ガラス側面からの貫通穴の観察像